三坐標測量機的測量精度要求很高，且其部件繁多，結構復雜，影響測量誤差因素多。三坐標測量機這種多軸機器主要有以下四種的靜態誤差源：
（1）由于結構件（如導軌和測量系統）的有限精度造成的幾何誤差。這些誤差由這些結構件的制造精度和安裝維護中的調整精度來決定。
（2）與三坐標測量機的機構件的有限剛度有關的誤差。主要由移動部件的重量引起。這些誤差由結構件的剛度、重量和它們的配置來決定。
（3）熱誤差，例如單一溫度變化和溫度梯度引起的導軌的膨脹和彎曲。這些誤差由三坐標測量機的機器結構、材料特性和溫度分布決定，并受外熱源（如環境溫度）和內熱源（如驅動裝置）的影響。
（4）測頭與附件誤差，主要包括由于換測頭、加接長桿、加接其它附件引起的測頭測端半徑的變化；測頭在不同方向和位置觸測時的各向異性誤差；分度臺轉動帶來的誤差等。