三坐標測量機的保養，需要在各方面都要進行維護，光柵尺作為三坐標測量機的關鍵部件，也是非常部件，保養的是否合理直接影響三坐標的精度和光柵尺的壽命。三坐標測量機光柵尺的具體保養和清潔方法請看業內人士的建議。
光柵尺傳感器與數顯表插頭座插拔時應關閉電源后進行。盡可能外加保護罩，及時清理濺落在尺上的切削和油液，嚴格防止任何異物進入殼體內部。定期檢查各連接螺絲是否松動。為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻涂上一薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。
為保證光柵尺傳感器使用的可靠性，可每隔一定時間用乙醇混合液（各百分之50）清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。光柵尺傳感器嚴禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺如光柵尺斷裂，光柵尺傳感器即失效了。不要自行拆開柵尺傳感器，更不任意改動主光柵與副光柵的相對間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度，另一方面可能造成主光柵尺與副光柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就破壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。
應注意防止油污及水污光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。光柵尺傳感器應盡量避免在嚴重腐蝕作用的環境中工作，以免腐蝕光柵尺鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質量。
三坐標測量機的光柵尺清潔，可以使用脫脂棉球蘸無水酒精，手拿棉球從光柵的一端擦向另一端，然后換掉這個棉球，用干凈棉球接著擦，棉球不能重復使用，注意不能來回擦。擦的過程中不要碰讀數頭，不要讓棉球的纖維粘在光柵上，讀數頭有靜電會吸附纖維影響讀數。三坐標測量機的光柵尺不宜經常擦，一季度或半年擦一次即可。